应用范围:OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
产品型号 :OTF-1200X-4-RTP
上架时间 :2019-07-18
安装尺寸:760(L)×330(W)×530(H) mm (法兰关闭)
1200(L)×330(W)×530(H) mm (法兰打开)
重量:70Kg
OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
性能指标和基本配置 | ||
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基本参数 |
● 工作温度:最高900℃(<10min); |
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炉体结构 |
● 带风冷的双层铸钢外壳使得炉体表面温度低于60℃(参考值) |
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加热元件 | ||
升温降温速率 |
● 最快升温速率: |
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温控系统 |
● 包含一款808P型温度控制器 |
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温控系统(可选) |
● 可选购欧陆型温控仪表,控温精确度可以提升到±0.1℃。 |
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石英管和样品架 |
● 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length |
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真空法兰 |
● KF-25D型不锈钢高真空法兰上配有两个高温硅胶O形圈并安装有针阀和水冷套。 |
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真空系统(可选) | ||
水冷机(可选) | ||
流量计 | ||
真空表 | ||
注意 | ||
尺寸 |
760(L)×330(W)×530(H) mm (法兰关闭) |
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净重 |
70Kg |
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可选 |
● 您可以将RTP炉,真空泵及混气系统搭建组合为真空炉或CVD系统 |
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使用注意事项 |
● 炉管内气压不可高于0.02MPa |
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国家专利 |
专利名称:一种快速高温退火炉 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 |
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质量认证 |
所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证CE认证/若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
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保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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