实验设备

● 配置单端封口石英管，一滑轨安装在右侧法兰处用于炉管的手动移动
● 管子一端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。
● 法兰处可插入一根直径1/4”热偶用来监测管内实际温度

● 电压：AC208-240V，50/60Hz
● 功率：2.5KW

1100℃

±1℃

152mm

100mm（±1℃）

硅碳棒4根

2个S型热电偶：1根用于测量和控制炉体温度，1根用于监测炉管内样品的实时温度

● 两个温区分别由两个独立的温控系统控制
● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
● 设置有超温和断偶保护
● 控温精度为±1℃
● 设备面板上带有RS485通讯接口
● 可选购PC控制模块，可采用电脑来设置和显示温度曲线

加热速率:                                     冷却速率:
30°C/sec (RT - 500°C);               16°C/sec (1100°C - 800°C);
12°C/sec (500°C - 800°C);          9°C/sec (800°C - 600°C);
5°C/sec (800°C - 900°C);            5°C/sec (600°C - 500°C);
3.6°C/sec (900°C - 1000°C);       3.6°C/sec (500°C - 400°C);
1°C/sec (1000°C - 1100°C);        2.5°C/sec (400°C - 300°C);

● 单端封口高纯石英管
    尺寸：50mm OD×44mm ID×304.8mm L
    最高工作温度：1100℃（常压下）

● 可选：CF高真空法兰
   最高温度：1000℃，10-6Torr
  1000℃（真空下）

● 镀Cr厚钢板做的双向滑轨
● 滑动长度：350mm

● 管子一端安装真空法兰，标配一机械压力表
● 法兰处可插入一根直径1/4”热偶用来监测管内实际温度

● 取决于所选真空泵（真空泵不在标配中）
● 10-5Torr（采用分子泵）
● 10-2Torr(采用机械泵)

400mm L×305mm W×530mm H

~45kg

可利用此设备DIY构建快速热蒸发以及物理化学气相沉积工艺，如下图：

CE认证