实验设备

● 一个高热传导性的氧化铝样品托盘固（50mmLx25mmW）定于K型热电偶上,手动移动炉管外部磁铁可推动热偶和样品盘在炉管内移动，样品材料蒸发或沉积。
● 一块NIST认证的精密温度显示仪表通过法兰与热偶连接，实时显示样品的温度。
● 一个磁铁嵌入到炉管内部的管堵内，另一个磁铁位于炉管外部。移动外部磁铁可使热偶和样品盘在炉管内移动。
● 炉体可设置30段升降温程序，其最高温度为1200℃（位于炉体中心）
● 设备中包含一石英坩埚，可用于放置蒸发材料或放置沉积基片

● 208 - 240 VAC, 50/60Hz
● 最高功率：1.5KW

1200℃

1100℃

<= 20 ℃/min

● 加热区长度：200mm(单温区）
● 恒温区长度: 60mm) (温度偏差+/-1°C，炉体烧至1000℃

● 30段升降温曲线
● 采用PID方式调节温度，带有超温和短偶保护
● 控温精度：+/- 1ºC
● 控温精度：±1℃
● S485 通讯接口
● 可选:  炉体可通过PC（MTS02-Y）温控软件控制，可采用电脑设置和显示温度曲线

● 一根石英管（50mm O.D. x 44mm I.D. x 1000mm L）
● 4个氧化铝管堵

一对不锈钢密封法兰，进气口为Φ6.35卡套接头，出气口为KF25接口（与真空泵对接）

10-2torr (机械泵)

● 真空手动挡板
● 快速连接法兰
● 多通道气路系统，用于DVD或CVD实验

● 炉体关闭: 1055mm (L) × 300mm(W) × 400mm(H)
● 炉体打开: 1055mm (L) × 300mm(W) × 560mm(H)

22Kg

● 笔记本店（安装Window10系统），可用电脑控制设备，Labview软件温度控制系统，用户可编辑程序，记录数据和绘制曲线
● 一个无线控制器，控制范围300m

CE认证