RTP-1000-LV3C 900℃带3路浮子混气RTP管式炉
应用范围：RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵（真空度达 10-3 torr ）。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达 3" ）退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热，最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。
产品型号 ：RTP-1000-LV3C
上架时间 ：2019-07-18
安装尺寸：600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H)
重量：210 lbs
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RTP-1000-LV3C 是一款 4" RTP (快速热处理) 管式炉。配有三路流量计和一个机械泵（真空度达 10-3 torr ）。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达 3" ）退火而设计。 这款设备是采用 9KW的红外灯加热，最快升温速度是 100oC/秒. 30 段精确温度控制，精度是 +/-1oC.。RS485 接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。安装在移动架里的三路气体控制和真空泵跟RTP 炉体相连接。
| 性能指标和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 关于RTP 炉子 |
● 炉体结构: 双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷, |
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| 结构图 |
可滑动的石英样品架, 最大可放 3" 基片炉子可以以 100 oC/S升温到1000 oC, 打开上盖可快速降温滑动法兰使得装载样品很容易 |
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| 可选 |
本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 |
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| 关于真空泵和气体流量计 |
● 3个气体流量计 (量程40-400 cc/min ， 精度4% FS) 安装在移动架底部,显示每路气体的流量。 |
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| 外形尺寸 |
600 mm (L) x 600 mm (W) x 597 mm ( H) |
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| 重量 |
210 lbs |
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| 国家专利 |
一种快速高温退火炉； 专利编号：ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 |
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| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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黄萍萍