微型PECVD系统
应用范围：这款小型PECVD，其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体，而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热，此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上，以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃，采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
上架时间 ：2019-07-05
安装尺寸：等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D
温控盒： 4"H x 10"W x 8"D
移动架：600 x 600 x 600mm
重量：70 lb (包含真空泵)
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这款小型PECVD，其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体，而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热，此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上，以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃，采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 等离子源 |
● 等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W |