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微型PECVD系统

应用范围：这款小型PECVD，其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体，而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热，此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上，以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃，采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

上架时间：2019-07-05

安装尺寸：等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D

温控盒： 4"H x 10"W x 8"D

移动架：600 x 600 x 600mm

重量：70 lb (包含真空泵)

A^-A⁺

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这款小型PECVD，其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体，而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热，此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上，以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃，采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。

性能指标和基本配置
等离子源	● 等离子体射频电源：110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W ● 输出频率： 13.56 MHz ● 三档射频功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可调节） ● 腔体尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16" L ● 仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr（用机械泵）
滑动法兰	● 有一滑轨法兰安装于移动架上，以便于样品的放入和取出。 ● 样品可以放入加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度的均匀性。
加热圈和温控系统	● 加热圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使样品达到的温度为400℃ ● 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩，以减小热量损失 ● 温控方面:采用PID方式调节温度，同时可设置30段升降温程序，控温精度为： +/-1ºC，输入电源： AC 220V
两通道混气系统	● 混气箱上安装有两个浮子流量计，其量程为10-100SCCM ● 三个机械压力表：-0.1-0.15 MPa, ● 混气箱上安装有304不锈钢针阀 ● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管 ● 混气箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). ● 净重: 14 lbs.
真空和气体接口	标准的真空配置有： ● 一套3"的不锈钢法兰（上面安装有KF-25的真空泵接口，一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀） ● 一根KF25的波纹管（长度为1m)和三KF25卡箍 ● 一个数字式真空显示计 ● 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体，如N2, Ar, Air ，以及各种混合性气体。 ● 可以调整腔体内的压力或是进气流量，确保等离子体达到样品处（注意：不可通入易燃易爆性气体）
真空泵	● 仪器中配有一双旋机械真空泵，其抽气速率为120L/min。 ● 进气口为KF25接口，可以使腔体内真空度小于30mTorr
移动架	设备中配有一 600L x 600W x 600H（mm)的移动架，整个CVD系统可以安置于其上面
仪器尺寸	● 等离子源： 8.5" H x 10" W x 8" D ● 温控盒： 4"H x 10"W x 8"D ● 移动架：600 x 600 x 600mm
重量	70 lb (包含真空泵)
质量认证	CE Certified
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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