应用范围:OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD(等离子体气相沉积)管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。
产品型号 :OTF-1200X-50S-PE
上架时间 :2019-07-03
安装尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)
重量 :160 lbs
OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD(等离子体气相沉积)管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。
性能指标和基本配置 | |
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开启式管式炉 |
● 输入电源:208 – 240V AC, 1.2kW |
等离子体射频电源 |
● 输出功率: 5 -500W可调 |
真空法兰和接头 |
● 真空法兰采用304不锈钢制作 |
真空泵 |
● AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W |
产品尺寸和重量 |
外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H) |
可选配置 | |
混气系统 |
● 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 |
开门断电 | |
应用注意事项 |
●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度<1100℃ ●对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
质量认证 | |
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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