OTF-1200X-50S-PE-SL 小型滑动PECVD管式炉系统
应用范围：OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源，直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统，且设备性价比较为理想。
产品型号：
上架时间 ：2020-12-09
安装尺寸：1500mm L´600mm W´1200mm H
重量：160 kg
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OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑动开启式PECVD系统。此套设备配有等离子射频电源，直径为50mm的开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及机械泵组成。该设备模型可更新为不同类型的PECVD 系统，且设备性价比较为理想。
| 性能指标和基本配置 | ||||||||||||||||||
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| 设备名称 |
小型滑动PECVD管式炉系统—OTF-1200X-50S-PE-SL （2019.12.23—9728太阳集团实验室审核） |
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| 产品特点 |
● 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度； ● 可通过炉体滑动达到快速升温和降温； ● 可通过射频电源的频率来控制薄膜的应力； ● 可通过工艺调节来控制化学计量； ● 可沉积各种材料，如SiOx, SiNx, SiOxNy 和(a-Si:H) 等。 |
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| 加热炉参数 |
● 最高温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃； ● PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃； ● 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW； ● 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命  更多参数请联系9728太阳集团销售部 |
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| 射频电源 |
● 9728太阳集团公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。
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