● 最高工作温度1500℃
● 连续使用温度1400℃
● 三个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序
● 每个温区长度为200mm
● 总温区长度为600mm
● 炉管为高纯刚玉管
● 炉管尺寸：（标配）60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
● 炉管尺寸：（选配）80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
● 输入电源： 208 – 240V AC，单相
● 最大功率：6.6KW
● 配有一对不锈钢真空密封法兰，法兰上带有石英观察窗口
● 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）

● 输出功率: 5 -500W ± 1% .
● 射频频率: 13.56 MHz ±0.005% .
● 反射功率:最大 200W
● 匹配:自动
● 射频接口: 50 Ω, N-type
● 噪音: <50 dB.
● 冷却:风冷.
● 电源: AC 208-240V, 50/60Hz

● 输入电源：24V，1A  DC（配有一电压转换器）
● 测量范围：3.8x10-5 -1125 Torr.
● 数据显示：数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
● 接头：1/8"NPT 接头
● 产品尺寸：46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

● 采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
● KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
● 管内真空可达10E-2 Torr

● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.
● MFC 1范围: 0~100 sccm
● MFC 2和3: 0~200 sccm
● MFC 4范围: 0~500 sccm
● 一个混气罐，底部装有泄废液口.
● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
● 进气口: 4个1/4NPS.
● 出气口: 4个 1/4NPS.
● 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制

● 三个温区分别由三个温控系统控制
● 采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
● 带有超温和断偶保护
● 控温精度：+/- 1 ºC
可选;此款设备可以安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑

● 炉体：550 x 380 x 520  mm
● 炉体下端移动柜：1800×600×600mm

净重：220 Lbs.
运输重量：1200lbs

所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证/ CE认证，如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证