应用范围:GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪,可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜,样品直径可达50mm,镀膜厚度可达300Å,特别适用于SEM样品的镀膜。
产品型号:GSL-1100X-SPC-16
上架时间:2020-04-16
尺寸:400mm×300mm×400mm
重量:30kg
功能特点 |
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技术参数 | |||
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安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
水 | 不需要 | ||
电 | AC220V 50Hz,必须有良好接地 | ||
气 | 设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) | ||
工作台 | 尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 | ||
通风装置 | 不需要 | ||
电源 | 220V | ||
总功率 | <2000W(包括真空泵) | ||
真空室 | Ø160mm×120mm | ||
样品台 | Ø50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜 | ||
最大均匀镀膜 | Ø45mm | ||
尺寸 | 400mm×300mm×400mm | ||
重量 | 30kg | ||
可选配件 | 金、铟、银、铂等各种靶材 | ||
标准配件 | 1 | 金靶材 | 1个 |
2 | 进气针阀 | 1个 | |
3 | 保险丝 | 2个 |
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