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GSL-1100X-SPC-16 单靶等离子溅射仪

应用范围：GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。

产品型号：GSL-1100X-SPC-16

上架时间：2020-04-16

尺寸：400mm×300mm×400mm

重量：30kg

A^-A⁺

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GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm，镀膜厚度可达300Å，特别适用于SEM样品的镀膜。

功能特点

设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。
通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得最佳镀膜效果。
钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。
陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。
根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。
已通过CE认证。

技术参数
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
电	AC220V 50Hz，必须有良好接地
气	设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀）
工作台	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通风装置	不需要
电源	220V
总功率	<2000W（包括真空泵）
真空室	Ø160mm×120mm
样品台	Ø50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膜
最大均匀镀膜	Ø45mm
尺寸	400mm×300mm×400mm
重量	30kg
可选配件	金、铟、银、铂等各种靶材
标准配件	1	金靶材	1个
	2	进气针阀	1个
	3	保险丝	2个

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