实验设备

● 输入电源：220V AC 50Hz
● 输出电压：600 VDC
● 输出功率：最大500W
● 整机功率：1000W（包括真空泵）

● 采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H（配置直靶头）
● 尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 290 mm H（配置带角度倾斜靶头）
● 密封法兰:直径为165 mm，采用金属制作，密封采用O形密封圈

溅射头安装靶材直径为2英寸，同时可选配1英寸溅射头

1英寸靶头 2英寸靶头
● 仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台，其与溅射头之间距离可调
● 样品台可加热，加热温度RT-500℃（RT为室温）
● 安装有一可手动操作的挡板
● 最大可制膜的直径为:2英寸（标配2英寸，如果需要更大尺寸请与我们销售联系）

● 安装有KF25真空接口
● 数字真空压力表（Pa）
● 此系统运行需要Ar气，并且气瓶上安装有减压阀（设备中不包含）
● 采用机械泵< 3.8E-2 Torr(参考值，详情请点击）
● 采用涡旋分子泵< 3.8E-5 Torr(参考值，详情请点击）
● 可在本公司选购各种真空泵

● 设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶
● 设备前面板上装有一气流调节旋钮，方便调节气流

● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度)
● 可在本公司选购各种靶材

可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H

● 有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜
● 为了得到较好的薄膜质量，必须通入高纯气体（建议> 5N）
● 在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
● 要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面
● 超声波清洗（详细参数点击下面图片）：（1）丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）真空烘箱除去水分。
● 等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物。
● 制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力。

    超声波清洗机          等离子清洗机             蒸镀仪                      手套箱

● 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。
● 气瓶上应安装减压阀（设备标配不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。
● 溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶

CE认证