实验设备

● 输入电源：220VAC 50/60Hz
● 溅射电流：0-150 mA可调
● 功率：＜2KW
● 输出电压：最大1600VDC

● 采用石英腔体，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H
● 密封：采用O形密封圈密封

● 2英寸带水冷的磁控溅射头（注意：水冷机不是标配）另有1英寸靶头可选（图一）
● 一个直径50mm不锈钢样品台，样品台可旋转，转速可调 （图五）
● 安装有一可手动操作的溅射挡板（图二、三）
● 样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围：30-80mm（图二、三）
● 靶头支架，可以在非溅射状态放置溅射靶头（图四） 

                图1                       图2                   图3                    图4                         图5

                               实验效果

● 安装有KF25真空接口
● 数字真空压力表（Pa）
● 此系统运行需要Ar气，并且气瓶上安装有减压阀（设备中不包含）
● 采用机械泵<1.0E-2 Torr（参考值，详情请点击）
● 采用涡旋分子泵<1.0E-5 Torr（参考值，详情请点击）
● 可在本公司选购各种真空泵

● 含一个控制进气的针阀和一个放气阀
● 本设备接气需要安装减压阀（可在我公司选购减压阀）

● 靶材尺寸要求：Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)
● 适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金属（可在我公司选购）

● 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上（见图一）
● 可选加热样品台，最高可加热500℃（见图二、三）
● 可选浮子流量计来精确控制进气量（见图四）

             图1                            图2                           图3                           图4

● 有时为了达到理想的薄膜厚度，需要多次溅射镀膜
● 在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
● 要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面
● 超声波清洗（详细参数点击下面图片）：（1）丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）真空烘箱除去水分
● 等离子清洗（详细参数点击下面图片）：可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物
● 制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力
● 此溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射

     超声波清洗机        等离子清洗机     大功率磁控溅射仪            手套箱

● 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。
● 气瓶上应安装减压阀（设备标配不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。
● 溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶

CE认证