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VTC-16-SM 小型高能直流磁控溅射仪

应用范围:VTC-16-SM是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头(另有1英寸靶头可选)和可旋转样品台,外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵。

产品型号 :VTC-16-SM

上架时间 :2019-08-19

安装尺寸:L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

重量:20 kg(不包含泵及水冷机)

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       VTC-16-SM是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头(另有1英寸靶头可选)和可旋转样品台,外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵。

 性能指标和基本配置
主要参数

● 输入电源:220VAC 50/60Hz
● 溅射电流:0-150 mA可调
● 功率:<2KW
● 输出电压:最大1600VDC

溅射腔体

● 采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H
● 密封:采用O形密封圈密封

溅射头&样品台

● 2英寸带水冷的磁控溅射头(注意:水冷机不是标配)另有1英寸靶头可选(图一)
● 一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,转速可调 (图五)
● 安装有一可手动操作的溅射挡板(图二、三)
● 样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:30-80mm(图二、三)
● 靶头支架,可以在非溅射状态放置溅射靶头(图四) 
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                图1                       图2                   图3                    图4                         图5
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                               实验效果

控制面板 6" PLC集成触摸屏控制面板,可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度
真空系统

● 安装有KF25真空接口
● 数字真空压力表(Pa)
● 此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)
● 采用机械泵<1.0E-2 Torr(参考值,详情请点击)
● 采用涡旋分子泵<1.0E-5 Torr(参考值,详情请点击)
● 可在本公司选购各种真空泵
1

进气

● 含一个控制进气的针阀和一个放气阀
● 本设备接气需要安装减压阀(可在我公司选购减压阀)
1

靶材

● 靶材尺寸要求:Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)
● 适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金属(可在我公司选购)
1

各种靶材的参数(仅供参考) 对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数(参考值,详情请点击)
靶材种类 真空度(Pa) 溅射电流(mA) 时间(s) 溅射次数
Au 31-33 28-30 100 1
Ag 31 28 100 1
可选配件

● 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上(见图一)
● 可选加热样品台,最高可加热500℃(见图二、三)
● 可选浮子流量计来精确控制进气量(见图四)
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             图1                            图2                           图3                           图4

产品尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 520 mm
净重 20 kg(不包含泵及水冷机)
使用提示

● 有时为了达到理想的薄膜厚度,需要多次溅射镀膜
● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面
● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分
● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物
● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力
● 此溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射
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     超声波清洗机        等离子清洗机     大功率磁控溅射仪            手套箱

警告

● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。
● 气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶

认证

1CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内
点击查看售后服务承诺书。
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