OTF-1200X-S25-II-SL 1200℃1英寸双温区管式炉CVD系统
应用范围：OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；触屏式三路质子流量器，能够精确控制系统的供气；真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
产品型号 ：OTF-1200X-S25-II-SL
上架时间 ：2019-07-02
安装尺寸：600(L) x 600(W) x 700(H) mm
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OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；触屏式三路质子流量器，能够精确控制系统的供气；真空泵可实现对管式炉快速抽真空。
| 性能指标和基本配置 | ||
|---|---|---|
| OTF-1200X-S25-II -SL管式炉 | 炉体结构 |
● 采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度都小于55℃ |
| 炉管尺寸 | Φ25×1000mm | |
| 功率 | 1.2kW | |
| 输入电压 | 220VAC 单相 50/60Hz | |
| 加热元件 | Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） | |
| 最高温度 | 最高1200℃额定温度1100℃ | |
| 升温速率 | ≦10℃/min（推荐） | |
| 加热区长度 |
● 两个加热区的长度都是100mm |
|
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 快速连接法兰 |
● KF25不锈钢真空法兰 |
|
| 真空系统（多种真空系统可选请点击这里) | 壳体尺寸 |
600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
| 最大承载量 | 1000 Lbs | |
| 抽气速率 |
● 3L/S |
|
| 电压 | AC220V/50Hz单相 | |
| 功率 | 23W | |
| 应用注意事项 |
●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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| 质量认证 |
所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证,若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 |
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| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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黄萍萍