应用范围:GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统,其真空泵采用双旋片式,混气系统采用三路浮子供气系统,最高温度可以达到1700°C,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
产品型号 :GSL-1700X-F3LV
上架时间 :2019-06-28
安装尺寸:炉体:550 x 500 x 700mm L x W x H
混气系统:: 600 x 600 x 700mm
真空机组: 600 x 600 x 700mm
GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统,其真空泵采用双旋片式,混气系统采用三路浮子供气系统,最高温度可以达到1700°C,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。
性能指标和基本配置 | |
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炉体结构 |
●采用双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于55°C. |
加热元件 |
1800 grade MoSi2 ( 8根) |
最高工作温度 |
1700℃ |
最大升温速率 |
5℃/min |
最大降温速率 |
5℃/min |
加热区长度 |
455mm (18") |
温控系统 |
●一个精密温度控制器 PID方式控制,通过可控硅 SCR |
控温精度 |
+/- 1℃ |
炉管材质和尺寸 |
●99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管 |
密封法兰 |
●两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)和阀门 |
输入电源 |
AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:最大5KW |
真空泵 |
一个双旋片式机械泵安装在移动架内通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr |
配件 |
●标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口,两个不锈钢针阀, 1/4"的软管接头 |
气体流量计 |
● 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 |
产品尺寸 |
● 外径80 & 100mm 的氧化铝陶瓷管 |
净重 |
450 lb (总计) |
运输重量 |
500 lb (总计) |
质量认证 | CE certified |
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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