OTF-1200X-80-III-F3LV 1200℃三温区三通道混气CVD系统
应用范围：OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，它是由管式炉，三路浮子流量供气系统组成，其真空度可达到 10-2 torr。
产品型号 ：OTF-1200X-80-III-F3LV
上架时间 ：2019-06-28
重量 ：约 90 Kg
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OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，它是由管式炉，三路浮子流量供气系统组成，其真空度可达到 10-2 torr。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 炉体结构 |
● 双层壳体结构并带有风冷，使得壳体的表面温度小于60度 |
| 功率 |
5 KW |
| 电压 |
AC 208-240V单相, 50/60 Hz |
| 加热元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
| 最高工作温度 |
1200℃ |
| 连续工作温度 |
1100℃ |
| 最大加热速率 |
≤20 ℃/min |
| 石英管& 密封法兰 |
● 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内 ● 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰，压力表和阀门（点击下面的图片查看详细的信息） 
|
| 加热区长度 |
● 三个温区长度: (880mm, 35" in total) ● 温区 1: 220mm (8.6" ) ● 温区 2: 440mm (17.3") ● 温区 3: 220 mm (8.6") 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 |
| 温控系统 |
● 三个精密温度控制器，可独立控温 |
| 控温精度 |
+/- 1℃ |
| 真空密封系统 |
● 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀）. |
| 真空泵 |
采用双旋机械泵，机械泵上安装有进口的油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米 |
| 数字式真空显示计 |
可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换 |
| 气体流量计和压力表 |
● 三个浮子流量计，能够检测到气体的流 |
| 阀门 |
四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上，用于控制气体的流量 |
| 外形尺寸 |
● 炉子: 1100 X 450 x 670mm |
| 开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
| 净重 |
约 90 Kg |
| 运输重量 |
245 lbs |
| 应用注意事项 |
●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
| 质量认证 |
 CE certified
|
| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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黄萍萍