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OTF-1200X-80-II-F3LV 1200℃双温区开启式真空管式炉

应用范围：OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用双旋片机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，可以混合1-3种气体，其真空度可达到 10-2 torr.

产品型号：OTF-1200X-80-II-F3LV

上架时间：2019-07-01

安装尺寸：炉体: 550 x 380 x 520

移动架: 600x600x597

重量：约60kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用双旋片机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，可以混合1-3种气体，其真空度可达到 10-2 torr.

性能指标和基本配置
壳体结构	● 双层壳体结构，并带有分冷，使得壳体表面的温度小于 55 ℃ ● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿
功率	2.5 KW
电压	AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
最高工作温度	1200℃
连续工作温度	1100℃
最快升温速率	≤20 ℃
炉管材质和尺寸	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加热元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
加热区长度	两个加热区: 每个温区200 mm (8") 总加热区长度400 mm
温度控制器	● 两个精密的温度控制器，单独的控制两个温区 ● PID方式控制,通过PWM固体继电器 ● 30 可编程智能温度调节仪，可设置30段升降温程序 ● 带有过热和断偶保护
控温精度	+/- 1 ℃
真空密封系统	● 两个不锈钢密封法兰，法兰上有KF-25接口和法兰上已经安装机械压力表（图片中的蓝表为选配)阀门 ● 真空度：通过机械泵真空度可以达到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr)，如想获得更高的真空度可以采用分子泵，真空度可以达到10-5 torr. ● 泄漏率< 5 m-torr/min(点击图片查看详细资料）
真空泵	● 采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的最小微粒直径为0.3微米。
防腐型真空计	● 本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
混气系统	● 3个浮子流量计安装在一个移动架上，可以推动，可同时混入三种不同气体。 ● 第一路气体流量范围为10-100 cc/min. ● 第二路气体流量范围为16-160 cc/min. ● 第三路气体流量范围为25-250 cc/min. ● 一个压力表安装在移动加上，压力表直接于移动架内的混气箱相连接，来监测混合气体的压力
阀门	四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处
产品净重	约60KG
运输重量	600 lbs
外形尺寸	● 炉子: 550 x 380 x 520 ● 移动架: 600x600x597
开门断电	● 为保证使用安全，该电炉为开门断电设计
应用注意事项	●炉管内气压不可高于0.02MPa ●由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ●当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ●进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ●石英管的长时间使用温度＜1100℃ ●对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证,若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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