实验设备
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KSL-1400X-MW实验型微波箱式炉 -
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GSL-1700X-F3LV1700℃单温区三通道混气CVD系统 -
OTF-1200X-4- C4LVS1200℃双管滑动式四通道混气CVD系 -
OTF-1200X-4-RTP-C3HV高真空快速CVD系统 -
OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV高真空三温区CVD系统 -
OTF-1200X-F3LV开启式单温区低真空CVD系统 -
RTP-1000-F3LV快速升温CVD系统 -
GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪 -
钙钛矿镀膜机 -
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪 -
GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪 -
GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪 -
VTC-1RF1 英寸小型磁控射频溅射镀膜仪 -
3英寸玛瑙研钵 -
PTL-MM01提拉涂膜机 -
OTF-1200X-4-R-II-AF1200℃自动进出料旋转炉 -
固态锂离子电池制备
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