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OTF-1200X-5-III-F3LV 带滑动法兰三温区CVD系统

应用范围：带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃，并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场，可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。

产品型号：OTF-1200X-5-III-F3LV

上架时间：2020-04-20

管式炉尺寸：1080mm×430mm×600mm

重量：70kg

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带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃，并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场，可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。

功能特点

双层壳体，配有冷系统，炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。
内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。
一端法兰配有滑轨，便于样品装卸；另一端法兰装有数字真空计。
采用三个独立PID控制器，可以设置30段升降温程序，设有过热和断偶保护功能。
已通过CE认证。

技术参数
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
电	AC220V 50Hz，必须有良好接地
气	设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源
工作台	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通风装置	需要
电源	单相AC 208-240V 50/60Hz 7KW （40A保险丝）
石英管	外径Ø125mm，内径120mm，长1400mm，带有一对真空密封法兰
加热元件	掺钼铁铬铝合金电阻丝
加热区域	温区I长229mm，温区II长457mm，温区III长229mm，总长915mm
恒温区域	三个温区为同一温度时为625mm，温区II为110mm
工作温度	最高1200℃，连续工作1100℃
最大升降温速率	20℃/min
控温精度	±1℃
热电偶	K型
浮子流量计	3个，量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min
数字真空计	10-4torr
管式炉尺寸	1080mm×430mm×600mm
重量	70kg

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