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PCE-6V 小型等离子清洗机

用范围：PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内彻底清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

产品型号：PCE-6V

上架时间：2019-09-04

安装尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵）

重量：20kg（不含真空泵）

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PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内彻底清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

性能指标和基本配置
主要特点	● 采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 ● 可短时间内彻底清洗掉有机污染物。 ● 清洗程度可达到分子级。 ● 可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。 ● 清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。 ● 样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。 ● 广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。
参数	● 电压：AC220V 10A ● 消耗功率：<500W（包括真空泵） ● RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz ● 腔体：Φ190mm×98mm ● 石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm ● 内腔：Φ165mm×55mm ● 清洗电极：Φ120mm ● 样品台：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm ● 样品台与电极间距：15mm-50mm ● 可调抽气管：Φ12mm ● 极限真空度：0.1Pa ● 工作真空度：60Pa-500Pa ● 气路数量：2路（选装） ● 流量控制器数量：1、2 ● 流量显示仪：2通道 ● 气路接口：Φ6mm ● 加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装） ● 冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa ● 工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m
产品规格	● 尺寸：245mm×235mm×460mm（不含真空泵） ● 重量：20kg（不含真空泵）
可选配置	● 加热样品台 ● 流量控制器（量程10、50、100，最多可增加2个通道）
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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