实验设备

● 最大射频功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 总功率: < 600W
● 电源：AC 220V , 50Hz

● 射频功率可在 0 - 100W之间调节
● 频率: 13.56 MH
● 可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀或等离子灰化等实验

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体
● 铝制折叠式法兰来进行真空密封
● 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口
● 此设备完全屏蔽射频辐射，零射频泄漏

● 通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.
● 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量

● 仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵
● 极限真空度为50mTorr（参考值，具体请点击）
● 真空泵模块

● 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）
● 不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

● 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
● 可选购2-4通道质子或浮子混气系统
● 图片（空气系统模块）

620 L ×600 W ×600 H, mm

● 请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率
● 对于等离子清洗，根据工艺，通常保持射频功率在10 - 30W之间
● 对于等离子刻蚀，根据工艺，通常保持射频功率在35 - 80W之间
● 可根据要求提供300W高功率射频电源

CE认证