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MSK-PSE-GEC1515 蒸镀手套箱一体机

应用范围: 六源钙钛矿真空蒸发镀膜机配备3组有机束源式蒸发源炉+3组舟式蒸发源,可蒸镀多种金属或有机材料如:CuAgC60NPBTPBi等材料,与专用双节单面双工位手套箱对接组成一体机后可在手套箱中操作。设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。

产品型号:MSK-PSE-GEC1515

整机尺寸:约L2410*850*H1860mm

重量:约920kg

上架时间:2024-04-12

版本号:V1.1



产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询
       六源钙钛矿真空蒸发镀膜机配备3组有机束源式蒸发源炉+3组舟式蒸发源,可蒸镀多种金属或有机材料如:Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料,与专用双节单面双工位手套箱对接组成一体机后可在手套箱中操作。设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。
  真空蒸发镀膜机功能特点
  • 真空腔室:采用304不锈钢腔室,设计有前门双导轨和后门手动铰链结构,前后门带玻璃观察窗及防污挡板。腔室内外表面经过抛光处理,并预留有照明、膜厚仪等设备接口;
  • 真空系统:配备中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径与鲍斯BSV-30机械泵,具有高效的抽气能力,抽气时间短且极限真空度高(优于2.0×10-5Pa),关机12小时后仍可保持良好真空性能;
  • 基片台:抽屉式结构,可承载最大L150mm*W150mm样品,配气动基片大挡板,支持旋转和水冷功能,与蒸发源距离可调,手动升降调节最大50mm可调;
  • 蒸发源及电源:系统配置3组舟式蒸发源,金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构,最高温度可达1500℃;并配备2.4KW蒸发电源,支持恒流和恒压两种驱动模式,可手动/软件控制也可通过膜厚仪PID控制调节蒸发速率;
  • 膜厚控制系统:采用进口INFICON公司的SQC-310膜厚仪,精度高达0.01埃,能自动控制金属蒸发电源输出。同时,还配备了西门子PLC+触摸屏手自动控制系统,可以输入速率和终厚,通过PID调节实现对蒸发电源输出的控制;
  • 多项安全保护功能叠加,安全系数大大增加;
  • 机械泵前加装分子筛,抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件,气路设计避免扬尘;
  • 所有样品台、源挡板,样品台旋转均采用磁流体密封,保证系统长期稳定性。
  手套箱功能特点
  • 密闭循环,手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环,不断地除水除氧;
  • 自动控制再生,除水除氧材料可以再生,再生过程由程序控制;
  • 自动清洗,手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成;
  • 箱体压力控制,手套箱内压力通过PLC自动;
  • 真空泵自动控制,真空泵可在系统需要时自动开启;
  • 手套箱用于操作蒸镀仪的手套位高度比常规手套位高度高50mm,更方便对蒸镀仪进行操作;
  • 侧面预留有安装钉,可用于固定蒸镀仪的支架和触摸屏;
  • 大过渡舱补气采用气瓶补气方式。
  真空蒸镀仪技术参数
电源 三相五线制AC380V±10%,频率:50Hz,总功率约8KW
气源 压缩空气:干燥、干净、无水、无油的压缩空气,8mm塑料气管,压力5.5~6公斤(0.55-0.6MPa) 氮气:干燥氮气,用于设备腔室破真空,8mm塑料气管,压力1-2公斤(0.1-0.2MPa)
水源 流量15-20升/分钟,15~25℃,
进水和出水压差3~4公斤,进水压力3~5公斤,
设备的进水和出水口外径1英寸,
建议在设备的进水口前安装一个球阀,方便调节水压和水流量
真空极限 真空极限优于2.0×10-5Pa
漏率:优于5×10-8Pa*L/S(国家标准)
关机12小时后,真空度≤5Pa;(手套箱干燥氮气环境)
抽速 抽气时间:大气压~5*10-4Pa,小于25min;(手套箱干燥氮气环境)
真空室 304L不锈钢方形真空室,内部电抛光,立式前后开门结构
前门配有带档板直径4英寸观察窗1个(配防污玻璃),后门配有小观察窗用于观察样品源和样品2个(配防污玻璃)
内衬材质:不锈钢,多片结构方便拆卸安装
左侧:连接主阀门和分子泵,真空测量接口
顶部:安装旋转水冷样品台、样品台大挡板、膜厚仪接口各1个
底板:安装金属蒸发电极、有机束源蒸发源炉各3组(预留一组膜厚仪探头安装口)
真空室下方为一体式电控部分,配有万向轮和地脚,方便移动
抽真空系统 分子泵+机械泵组合式真空系统,气动阀门
分子泵:中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径,抽速:1300L/S
机械泵:BSV30机械泵,抽速:9L/S
真空阀门:DN40mm 挡板阀2套;中科科仪气动主阀DN200 1套
真空密封:可拆静密封采用氟橡胶圈密封,不常拆静密封采用无氧铜密封
真空计 复合真空计(一低一高2个真空计)
自动控制切换低真空、高真空测量,范围:大气到5E-9torr
真空读数输入PLC,用于工艺控制
蒸发源 配备3组舟式蒸发源。带2.4KW电源1套恒流恒压模式
配备3组有机束源蒸发源,配套3组坩埚,加热温度:0~700℃,角度可调范围:15°
配备3台有机蒸发电源,配备实时显示坩埚温度日本导电温控仪,可程序段控温
工件架 配有自转电动工件盘,一次性放置最大150*150mm样品,配有单转轴空心磁流体密封,样品旋转
高扭矩电机和控制器,转速0~30RPM可调
带冷却功能
主控系统控制开关,转速检测并显示
气动大挡板
系统自动控制 西门子PLC+触摸屏手自动控制,可输入速率及终厚,PID调节自动控制蒸发电源输出
控制内容:机械泵,分子泵,气动、电磁阀门、真空计等等;自动抽真空、自动镀膜、自动排气等
完整的互锁保护(硬件、软件互锁),另外系统配备水流检测报警装置
安全保护 缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护
对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施
真空室尺寸 约L400*W400*H450mm
外形尺寸 约L1000*W780*H2000mm
重量 约360kg
  手套箱技术参数
电源 单相AC220V±10%,频率:50Hz,总功率约1KW
工作环境 建议环境温度25±3℃,湿度30~90RH,无振动和电磁干扰
工位形式 单面出双工位
箱体材质 厚度3mm,SUS304不锈钢
泄露率 ≤0.005vol%/h
玻璃窗 倾斜设计, 10mm 安全钢化玻璃,使用螺丝固定
手套口 直径 220mm,防腐蚀处理,硬铝合金材质
手套 口径 8 英寸,厚度 0.4 mm
机架 高约960mm,含脚轮,可转移手套箱
搁物架 不锈钢材料,可调节高度
照明 节能照明灯安装在每块玻璃窗前上方,贴有防反射材料,光线柔和,防视觉疲劳
接口 备用接口5个,KF40,含电源接口1个(220V,50Hz)
大过渡舱 舱体 SUS304不锈钢,采用气弹簧式开门方式,通过法兰连接
尺寸 直径 360mm, 长度 600mm
滑动托盘 SUS304不锈钢,约L595mm*W230 mm,可左右自由移动延伸深度 361mm,可拆卸
自动抽补气 单独接气瓶补气
小过渡舱 舱体 SUS304不锈钢,与手套箱安装
尺寸 直径 320mm, 长度 155mm(进入箱体部分100mm)
手动控制系统 采用手动阀门控制
控制系统 脚踏板 使用脚踏开关,对箱压进行微调
显示屏 包括自诊断、断电自启动特性,具备压力控制和自适应功能
自动控制、循环控制、密码保护、真空室控制采用 LCD 显示
操作菜单可选:中文/英文
通过 PLC 触摸式调节(抽空、净化、再生)全过程无需人为监控
循环净化系统 净化柱 净化材料:铜催化剂 5kg,分子筛 5kg
净化能力 水、氧<1ppm
除水能力:2kg
除氧能力:80L
循环风机 流量 0-90m³/h,微处理器控制,经过压力测试的不锈钢装置
净化安全阀 高真空气动挡板阀
过滤器 采用符合HEPA标准的0.3微米孔径滤网的高效率过滤器
内箱尺寸 右侧大内箱约L1000mm*W780*H900mm
左侧小内箱约L800mm*W300*H900mm
整机尺寸 约L2410*850*H1860mm
设备重量 约920kg
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