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MSK-PSE-GEC1515 蒸镀手套箱一体机

应用范围：六源钙钛矿真空蒸发镀膜机配备3组有机束源式蒸发源炉+3组舟式蒸发源，可蒸镀多种金属或有机材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料，与专用双节单面双工位手套箱对接组成一体机后可在手套箱中操作。设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。

产品型号：MSK-PSE-GEC1515

整机尺寸：约L2410*850*H1860mm

重量：约920kg

上架时间：2024-04-12

版本号：V1.1

A^-A⁺

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六源钙钛矿真空蒸发镀膜机配备3组有机束源式蒸发源炉+3组舟式蒸发源，可蒸镀多种金属或有机材料如：Cu、Ag、C60、NPB、TPBi等材料，与专用双节单面双工位手套箱对接组成一体机后可在手套箱中操作。设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。

真空蒸发镀膜机功能特点

真空腔室：采用304不锈钢腔室，设计有前门双导轨和后门手动铰链结构，前后门带玻璃观察窗及防污挡板。腔室内外表面经过抛光处理，并预留有照明、膜厚仪等设备接口；
真空系统：配备中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径与鲍斯BSV-30机械泵，具有高效的抽气能力，抽气时间短且极限真空度高（优于2.0×10^-5Pa），关机12小时后仍可保持良好真空性能；
基片台：抽屉式结构，可承载最大L150mm*W150mm样品，配气动基片大挡板，支持旋转和水冷功能，与蒸发源距离可调，手动升降调节最大50mm可调；
蒸发源及电源：系统配置3组舟式蒸发源，金属源采用水冷铜电极+蒸发舟结构，最高温度可达1500℃；并配备2.4KW蒸发电源，支持恒流和恒压两种驱动模式，可手动/软件控制也可通过膜厚仪PID控制调节蒸发速率；
膜厚控制系统：采用进口INFICON公司的SQC-310膜厚仪，精度高达0.01埃，能自动控制金属蒸发电源输出。同时，还配备了西门子PLC+触摸屏手自动控制系统，可以输入速率和终厚，通过PID调节实现对蒸发电源输出的控制；
多项安全保护功能叠加，安全系数大大增加；
机械泵前加装分子筛，抽气口加装过滤网、百叶窗等防护件，气路设计避免扬尘；
所有样品台、源挡板，样品台旋转均采用磁流体密封，保证系统长期稳定性。

手套箱功能特点

密闭循环，手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧；
自动控制再生，除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制；
自动清洗，手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成；
箱体压力控制，手套箱内压力通过PLC自动；
真空泵自动控制，真空泵可在系统需要时自动开启；
手套箱用于操作蒸镀仪的手套位高度比常规手套位高度高50mm，更方便对蒸镀仪进行操作；
侧面预留有安装钉，可用于固定蒸镀仪的支架和触摸屏；
大过渡舱补气采用气瓶补气方式。

真空蒸镀仪技术参数
电源	三相五线制AC380V±10%，频率：50Hz，总功率约8KW
气源	压缩空气：干燥、干净、无水、无油的压缩空气，8mm塑料气管，压力5.5～6公斤（0.55-0.6MPa）氮气：干燥氮气，用于设备腔室破真空，8mm塑料气管，压力1-2公斤（0.1-0.2MPa）
水源	流量15-20升/分钟，15～25℃，进水和出水压差3～4公斤，进水压力3～5公斤，设备的进水和出水口外径1英寸，建议在设备的进水口前安装一个球阀，方便调节水压和水流量
真空极限	真空极限优于2.0×10^-5Pa 漏率：优于5×10^－8Pa*L/S（国家标准）关机12小时后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮气环境）
抽速	抽气时间：大气压～5*10^-4Pa，小于25min；（手套箱干燥氮气环境）
真空室	304L不锈钢方形真空室，内部电抛光，立式前后开门结构前门配有带档板直径4英寸观察窗1个（配防污玻璃），后门配有小观察窗用于观察样品源和样品2个（配防污玻璃）内衬材质：不锈钢，多片结构方便拆卸安装左侧：连接主阀门和分子泵，真空测量接口顶部：安装旋转水冷样品台、样品台大挡板、膜厚仪接口各1个底板：安装金属蒸发电极、有机束源蒸发源炉各3组（预留一组膜厚仪探头安装口）真空室下方为一体式电控部分，配有万向轮和地脚，方便移动
抽真空系统	分子泵+机械泵组合式真空系统，气动阀门分子泵：中科科仪脂润滑分子泵FF-200/1300口径，抽速：1300L/S 机械泵：BSV30机械泵，抽速：9L/S 真空阀门：DN40mm 挡板阀2套；中科科仪气动主阀DN200 1套真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封，不常拆静密封采用无氧铜密封
真空计	复合真空计（一低一高2个真空计）自动控制切换低真空、高真空测量，范围：大气到5E-9torr 真空读数输入PLC，用于工艺控制
蒸发源	配备3组舟式蒸发源。带2.4KW电源1套恒流恒压模式配备3组有机束源蒸发源，配套3组坩埚，加热温度：0～700℃，角度可调范围：15° 配备3台有机蒸发电源，配备实时显示坩埚温度日本导电温控仪，可程序段控温
工件架	配有自转电动工件盘，一次性放置最大150*150mm样品，配有单转轴空心磁流体密封，样品旋转高扭矩电机和控制器，转速0～30RPM可调带冷却功能主控系统控制开关，转速检测并显示气动大挡板
系统自动控制	西门子PLC+触摸屏手自动控制，可输入速率及终厚，PID调节自动控制蒸发电源输出控制内容：机械泵，分子泵，气动、电磁阀门、真空计等等；自动抽真空、自动镀膜、自动排气等完整的互锁保护（硬件、软件互锁），另外系统配备水流检测报警装置
安全保护	缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施
真空室尺寸	约L400W400H450mm
外形尺寸	约L1000W780H2000mm
重量	约360kg

手套箱技术参数
电源		单相AC220V±10%，频率：50Hz，总功率约1KW
工作环境		建议环境温度25±3℃，湿度30~90RH，无振动和电磁干扰
工位形式		单面出双工位
箱体材质		厚度3mm，SUS304不锈钢
泄露率		≤0.005vol%/h
玻璃窗		倾斜设计， 10mm 安全钢化玻璃，使用螺丝固定
手套口		直径 220mm，防腐蚀处理，硬铝合金材质
手套		口径 8 英寸，厚度 0.4 mm
机架		高约960mm，含脚轮，可转移手套箱
搁物架		不锈钢材料，可调节高度
照明		节能照明灯安装在每块玻璃窗前上方，贴有防反射材料，光线柔和，防视觉疲劳
接口		备用接口5个，KF40，含电源接口1个（220V，50Hz）
大过渡舱	舱体	SUS304不锈钢，采用气弹簧式开门方式，通过法兰连接
	尺寸	直径 360mm, 长度 600mm
	滑动托盘	SUS304不锈钢，约L595mm*W230 mm，可左右自由移动延伸深度 361mm，可拆卸
	自动抽补气	单独接气瓶补气
小过渡舱	舱体	SUS304不锈钢，与手套箱安装
	尺寸	直径 320mm, 长度 155mm（进入箱体部分100mm）
	手动控制系统	采用手动阀门控制
控制系统	脚踏板	使用脚踏开关，对箱压进行微调
控制系统	显示屏	包括自诊断、断电自启动特性，具备压力控制和自适应功能自动控制、循环控制、密码保护、真空室控制采用 LCD 显示操作菜单可选：中文/英文通过 PLC 触摸式调节（抽空、净化、再生）全过程无需人为监控
循环净化系统	净化柱	净化材料：铜催化剂 5kg，分子筛 5kg
	净化能力	水、氧<1ppm 除水能力：2kg 除氧能力：80L
	循环风机	流量 0-90m³/h，微处理器控制，经过压力测试的不锈钢装置
	净化安全阀	高真空气动挡板阀
	过滤器	采用符合HEPA标准的0.3微米孔径滤网的高效率过滤器
内箱尺寸		右侧大内箱约L1000mmW780H900mm 左侧小内箱约L800mmW300H900mm
整机尺寸		约L2410850H1860mm
设备重量		约920kg

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