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PCE-22 加热型紫外臭氧清洗机

应用范围：PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM &TEM，紫外对聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

产品型号：PCE-22

上架时间：2019-09-04

安装尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

重量：28kg

A^-A⁺

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PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM &TEM，紫外对聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

性能指标和基本配置
主要参数	● 功率：最大350W ● AC 208~240V，单相 50/60Hz
应用	● 去除分子级别的污染物 ● 紫外光固化粘合剂 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蚀 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片
紫外灯	● 可发出双波长的水银灯 ● 功率：55W ● 发出光的波长：254 nm 和 185 nm ● 使用寿命：2500 小时（可更换） ● 照射区域：200 x 200 mm
腔体&样品台	● 不锈钢壳体 ● 抽屉式样品台，以便放样取样 ● 样品台面积310 mm x 320 mm ● 臭氧通风装置安装在腔体上 ● 样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调） ● 样品台可以加热，最高温度可达150℃ ● 可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃ ● 设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时
排气口	● 直径为80mm的排气口安装在仪器后端 ● 请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外 ● 仪器中不包含橡胶管
环境要求	● 仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内; ● 温度范围：41-104华氏度; ● 最大相对湿度80％，最高87华氏度，104华氏度线性降至50％相对湿度; ● 主电源波动不超过额定电压的10％; ● 污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb。
外形尺寸	510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
净重	28kg
认证	所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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