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SKJ-LCZ 悬浮提拉晶体生长炉

应用范围：SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶体生长炉（采用悬浮熔炼对金属样品熔化，最高温度可达2000℃）。此系统采用组成：高频感应加热电源，高真空腔体，水冷铜坩埚（悬浮熔炼）和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染，可得到高纯度的金属（合金）单晶。

产品型号：SKJ-LCZ

上架时间：2019-07-23

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SKJ-LCZ是一款特殊的提拉法（CZ）晶体生长炉（采用悬浮熔炼对金属样品熔化，最高温度可达2000℃）。此系统采用组成：高频感应加热电源，高真空腔体，水冷铜坩埚（悬浮熔炼）和精密提拉机构。悬浮熔炼避免了坩埚的污染，可得到高纯度的金属（合金）单晶。

性能指标和基本配置
设备结构	● 40KW感应加热电源，用于悬浮熔炼 ● 特殊设计水冷铜坩埚，可熔炼60g样品 ● 高真空腔体，真空度可达10-6torr(采用分子泵系统） ● 精密可旋转（籽晶杆可旋转）提拉机构，提拉速度为0.1mm/h-24mm/h
感应加热电源	● 最大功率：40KW ● 频率：80-200KHz ● 电流：10-100A ● 电压: 380V +/-10% , 三相, 50/60Hz ● 水冷却：水压 ≧0.2MPa 水流量: ≧10L/min
水冷铜坩埚	● 坩埚尺寸: Φ35mm* 60mm ● 熔炼量: 最大 60g ● 需冷却水流量： 58L/min
提拉机构	● 提拉速度: 0.1-24mm/h ● 籽晶杆转速： 0.03-50r/min ● 最大提拉行程: 250 mm ● 可快速手动提拉 ● 提拉杆内部有水冷却
真空腔体&真空泵	● 采用SS304不锈钢腔体，带有水冷夹层 ● 腔体尺寸: Φ400x 40 D mm ● 石英窗口: Φ300mm ● 真空度: 10-6 Torr （采用分子泵系统） ● 真空泵: 分子泵体统，抽气速率700L/S
循环水冷机	● 设备所需冷却水流量≧110L/min ● 可在本公司选购循环水冷机
质量认证	CE认证
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。
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