OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生长炉
应用范围：OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉，其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置（1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动，同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管（SWCNTs）。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。
产品型号 ：OTF-1200X-50-DSL
上架时间 ：2019-07-23
安装尺寸：315 x 300 x 380 mm (炉体)
1200 x 400 x 530 mm ( 整个外形)
360 x 180 x 300 mm（电器控制柜）
重量：100Kg
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OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑轨炉，其炉管直径为Φ50mm,炉体滑动速度可以根据实验需要而设置（1mm/sec-100mm/s),并可以设置左右反复滑动，同时还可以设置炉体的滑动距离。此款管式炉专门设计用CVD方法定向生长单壁碳纳米管（SWCNTs）。通时此款滑轨炉也可用来在硅片上生长熔点较低的金属单晶。此系统包含了可设30段程序的高温炉、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不锈钢真空法兰。
| 性能指标和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 炉体结构 |
● 采用双层壳体结构，并带有风冷系统 |
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| 功率 |
1.5KW |
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| 电压 |
AC220V，单相 |
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| 最高共工作温度 |
1200℃（≤1小时） |
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| 连续工作温度 |
1100℃ |
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| 加热区域 |
● 加热区：200mm(单温区） |
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| 加热元件 |
掺钼铁铬铝（表面涂有高温氧化锆涂层，可延长其使用寿命） |
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| 炉管 |
● 高纯石英管 |
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| 温控系统 |
● 采用PID方式调节温度，可设置30段升温、降温和保温程序 |
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| 炉体滑动控制系统 |
● 触摸屏控制 |
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| 密封法兰 |
● 仪器中配有一套不锈钢密封法兰（上面已安装不锈钢针阀和机械压力表） |
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| 石英气体喷嘴 |
可选配石英气体喷嘴，将反应气体与缓冲清洗气体分开通入，可有效减少副反应发生，实现高端CVD工艺，如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺（ALC CVD）或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。 |
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| 真空度 |
● 10E-5 torr （用分子泵） |
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| 滑轨长度 |
1200mm |
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| 产品尺寸 |
● 315 x 300 x 380 mm (炉体) |
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| 重量 |
100Kg |
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| 质量认证 |
CE certified |
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| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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黄萍萍