实验设备

● 采用两个温度控制器，分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计，可向真空腔体中通入气体
● 真空腔体为一高纯的石英管，其尺寸为：11" OD/10.8" ID×9" H mm

● 工作温度：最高800℃  推荐加热速率：≦10℃/s（每个温区单独加热）
● 功率：20KW  电压：AC220V 50Hz 单相（需要20A空气开关）

● 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部
● 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节
● 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）
● 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性
● 底部载样台上可放入5"×5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料
● 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（KJ-5300型，16L/min)

● 真空法兰为316不锈钢制作
● 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
● 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
● 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，用机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其腔体内真空度可达10-4torr.

● 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序
● 每个温控系统都带有超温和断偶保护
● PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中

两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触

● 实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵
● 采用机械泵可使腔体内的真空度达到10E-2 torr
● 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵
● 也可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体按比例混好后导入到真空腔体中

1085mm L x 680mm W x 1710mm H

● 炉管内气压不可高于0.02MPa
● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
● 石英管的长时间使用温度＜1100℃
● 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

● 专利名称：可调短距离快速升降温蒸镀炉及其制造方法
● 专利号：ZL 2013 1 0185033.3
● 尊重创新，鄙视抄袭，侵权必究

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。