应用范围:CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。
产品型号 :CGM-2F
上架时间 :2019-07-09
安装尺寸:340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
重量:约10 Kg
CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。
性能指标和基本配置 | |
---|---|
浮子流量计 |
两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min |
混气罐 |
内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气 |
机械压力表(混气罐) |
-0.1-0.15 MPa |
关键和阀门 | |
外形尺寸 |
340 mm L x 300 D mm x 180 H mm |
净重 |
约10 Kg |
可选 |
● CVD或者PECVD |
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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