ALD-GSL-4 2通道ALD控制单元
应用范围：ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统，包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送，可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY，组建一套ALD系统，用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。
产品型号 ：ALD-GSL-4
上架时间 ：2019-07-09
安装尺寸：600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
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ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统，包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送，可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY，组建一套ALD系统，用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。
| 性能指标和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 工作电压&功率 |
AC220V 单相 50/60Hz 100W |
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| PLC触摸屏 |
● 通过6″PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制 |
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| ALD进气阀 |
● 对于两种前驱体气体的沉积，需2个ALD进气阀进行控制（不包含在设备中） |
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| 流量控制 |
● 四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合 |
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| 通气管道 |
● 内置不锈钢混气罐 |
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| 混气罐 |
Φ80X120mm |
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| 截止阀及配件 |
316不锈钢针阀 Φ1/4” 不锈钢管 |
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| 尺寸 |
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
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| 可选配件 |
● 可选购气液混合装置用于蒸汽的通入，点击下图查看详情 |
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| 质量认证 |
CE认证 |
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| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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黄萍萍