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OTF-1200X-II-PE-RR 卷对卷石墨烯制备管式炉系统

应用范围:OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置、500W等离子源、1200℃双温区管式炉、三路质子流量计控制系统、真空机组5部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。 

产品型号 :OTF-1200X-II-PE-RR 

上架时间 :2019-07-04 

安装尺寸:2400*600*1250mm 

重量:260kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置、500W等离子源、1200℃双温区管式炉、三路质子流量计控制系统、真空机组5部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长 。

 性能指标和基本配置
1200℃双温区管式炉

● 工作电源:AC220V,50/60Hz
● 功率:3KW
● 加热元件:电阻丝
● 最高温度:1200℃ (使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)
● 长期使用温度:1100℃
● 推荐升温速率:≤ 20℃ /min
● 炉管:高纯石英管:φ80*1400mm
● 总加热区长度:400mm
● 恒温区长度:200mm
● PID控温,具有超温及断偶保护
● 控温精度:±1℃

500W等离子源

● 输出功率:50-500W最大可调±1%
● RF频率: 13.56MHz,稳定性±0.005%
● 噪声:≤55DB
● 冷却:风冷
● 输入功率:1KW  AC 220V

三路质子流量计控制系统

● 电压:AC220V/50Hz
● 功率:23W
● PLC触摸屏控制
● 混气罐尺寸:φ80*120mm
● 工作温度:5~45 ºC
● 最大压力: 3x106 Pa
● 精度: ±1.5% FS
● 线性: ±(0.5-1.5)%F.S.
● 重复精度: ±0.2%F.S.
● 流量范围:
● 一路: 1~50 SCCM (甲烷标定)
● 二路: 1~200 SCCM (氢气标定)
● 三路: 1~200 SCCM (氩气标定)
气体种类标定根据客户要求可以进行其它选择

真空测量单元

● 型号:PGC-554-LD
● 显示范围:3.8E-5 to 1125 Torr
精度:
● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
● 100 … 950 mbar % of reading ±5
● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空机组(标配)

● 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器(PE材质)、电阻真空计以及连接管道接头等组成
● 真空泵抽气速率≥4.4L/s
● 极限真空度10-1Pa
● 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa

压力恒定控制系统(选配)

压力恒定控制范围(进气气氛为氩气):
● 760mtorr(100Pa)-----225torr(30000Pa)(按照进气量为500sccm)
● 600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照进气量为300sccm)
● 300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照进气量为100sccm)
● 180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照进气量为50sccm)
压力恒定控制精度:
● 180mtorr-----2.5torr(±%10)
● >2.5torr-----10torr(±%40)
● >10 torr------200torr(±%5)

卷对卷铜箔收放密封装置

● 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料,铜箔的移动速度为1-400mm/min可调;
● 配置一卷约5公斤重的铜箔,铜箔宽度:65mm,铜箔厚度0.025mm;
● 收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内,保证铜箔可在密封生长条件下进行运动,实现大规模制备 。
● 收卷机构与管式炉之间设置冷却装置用于铜箔的快速冷却。
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石英气体喷嘴

可选配石英气体喷嘴,将反应气体与缓冲清洗气体分开通入,可有效减少副反应发生,实现高端CVD工艺,如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺(ALC CVD)或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。
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产品尺寸

2400*600*1250mm
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产品重量

260kg

质量认证

电器元件可选择通过CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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