实验设备
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VTC-2RF2英寸300W射频磁控溅射镀膜仪 -
VTC-1RF1英寸100W射频磁控溅射镀膜仪 -
VTC-2DC2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪 -
VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪 -
VTC-16-D小型三靶等离子溅射仪 -
VTC-16-3HD小型三靶等离子溅射仪 -
VTC-3RF三靶射频磁控溅射镀膜仪 -
KSL-1700X-GS2161650℃下装载式气氛箱式炉 -
MSK-SFM-3LN液氮低温搅拌研磨机 -
玛瑙研磨钵 -
OTF-1200X-V1200℃五温区管式炉 -
OTF-1200X-IV-S1200℃小型四温区开启式管式炉 -
MSK-SFM-8电动玛瑙研磨机 -
GSL-1800X-III1800℃三温区管式炉 -
GSL-1700X-III-F3LV1700℃三温区管式炉 -
GSL-1700X-III1700℃三温区管式炉 -
MSK-SFM-65小型三辊研磨机 -
MSK-SFM-ABM300纳米级研磨机 -
GSL-1600X-III1600℃三温区管式炉 -
OTF-1500X-III1500℃三温区开启式管式炉 -
OTF-1400X-III1400℃三温区管式炉 -
OTF-1200X-HPR-III可摇摆三温区高温高压管式炉