PCE-33 紫外臭氧清洗机
应用范围：PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗机，自动开/关样品门，可选加热样品台，可用于清洗各种基片来达到比较好的涂膜/镀膜效果，最大有效清洗面积300×300mm。此款设备特别适合移除基片上的光刻胶，改善润湿性，清洗钙钛矿太阳能电池基片，SEM&TEM样品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被证明了是一种无酸性，干燥且无损伤地原子级别清洗手段，特别适合清除样品表面的有机物。设备上所用紫外灯管主要发出2种波长的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空气中的氧变为臭氧，254nm紫外光激活基片表面的有机物分子，两者结合可有效清除基片表面有机物。
产品型号：PCE-33
上架时间：2024-07-27
版本号：V1.2
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PCE-33是一款桌面式紫外（UV）臭氧清洗机，自动开/关样品门，可选加热样品台，可用于清洗各种基片来达到比较好的涂膜/镀膜效果，最大有效清洗面积300×300mm。此款设备特别适合移除基片上的光刻胶，改善润湿性，清洗钙钛矿太阳能电池基片，SEM&TEM样品，UV聚合物改性等。紫外臭氧清洗已被证明了是一种无酸性，干燥且无损伤地原子级别清洗手段，特别适合清除样品表面的有机物。设备上所用紫外灯管主要发出2种波长的紫外光185nm和254nm,其中185nm紫外光可把空气中的氧变为臭氧，254nm紫外光激活基片表面的有机物分子，两者结合可有效清除基片表面有机物。
| 功能特点 |
|---|
- 清洗面积较大，最大达300×300mm；
- 样品仓门自动开关；
- 可移除基片表面各种污染物；
- 样品台可加热，最高温度150℃；
- 触摸屏控制面板，可设置和现实各种参数。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 电源 | 单相AC220V±10%，频率：50Hz/60Hz，功率约950W |
| UV灯 | 双波长汞灯 |
| UV灯波长 | 184.9nm、254nm；（臭氧型双重波峰值） |
| UV灯使用寿命 | 5000小时 |
| UV灯罩区域 | 300mm*350mm |
| 可清洗基片尺寸 | MAX 12英寸，厚35mm |
| 时间设置 | 0.01s-99.9小时 |
| 腔体 |
不锈钢壳体 自动滑动抽屉样品仓 腔体内安装有臭氧排除装置 |
| 加热型样品台 |
面积L450mm*W450mm 支持最大样品厚度：40mm； 加热台最高温度可达150℃，程序控温 可设置30段温度段，控温精度±2℃ 最大加热速率：15℃/min 样品台和UV灯关之间的距离可调节：20~40mm 可选加热温度达到300℃，控温精度±0.1mm |
| 排气口 |
一个直径为75mm的排气口在设备后部 配有3米的柔性排气管道 |
| 设备应用 | 清洗Si基片，GaAs基片，石英和ITO玻璃；清洗各种氧化物单晶片，如蓝宝石，STO和LAO；清洗Au和Pt基片；轻金属材料表面氧化；活化聚合物材料；UV去除光刻胶；UV清洗LED显示屏等 |
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黄萍萍