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D-500 台阶仪

应用范围：D-500台阶仪支持台阶高度和粗糙度的2D轮廓扫描，以及翘曲度和应力的2D测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。设备提供最高1200μm垂直量测距离，亚埃分辨率以及0.03-15毫克的针压控制范围。具有广泛的应用范围，包括从纳米级到毫米级的台阶高度，高分辨率的粗糙度，软材料和薄膜应力等，使其能够服务于研发和生产环境中的各个行业。

产品型号：D-500

上架时间：2024-04-29

版本号：V1.0

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D-500台阶仪支持台阶高度和粗糙度的2D轮廓扫描，以及翘曲度和应力的2D测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量，大垂直范围和低触力测量功能。设备提供最高1200μm垂直量测距离，亚埃分辨率以及0.03-15毫克的针压控制范围。具有广泛的应用范围，包括从纳米级到毫米级的台阶高度，高分辨率的粗糙度，软材料和薄膜应力等，使其能够服务于研发和生产环境中的各个行业。

功能特点

台阶高度重复性：亚埃分辨率及光学杠杆传感器具有低重量，低噪声的特点。在1微米台阶的高度重复性为5埃；
直观的用户界面，数据采集设置和系统硬件控制显示在同一界面，直接保存原始数据，数据分析无需重新测量，操作便捷；
超高清镜头：500万像素高分辨率彩色相机，4倍数码变焦和增强的照明控制；
梯形校正：消除侧视镜头画面的扭曲失真；
圆弧修正：圆弧修正功能可自动修正探针在测量过程中的圆弧运动，极大提高了侧壁倾角和台阶宽度量测的精确度；
主要应用领域：薄膜/厚膜台阶的精准量测、蚀刻深度量测、柔性薄膜、表面粗糙度/平整度表征、薄膜2D应力量测、表面起伏度/弯曲度和其他多种表面分析功能。

技术参数
单次量测长度	30mm
拼接量测长度	80mm
探针	最大垂直测量值：1200μm 针压施力范围：0.03-15mg 电脑控制施力
侧视镜头	FOV：3760*3120μm 相机：500万像素数码相机支持4倍放大电脑校正视野
手动样品台	尺寸：直径140mm 水平移动范围：20mm*80mm
手动水平调节	1微米标样 50微米标样
探针	5微米，夹角60°
电脑配置	Windows10，64位，4GB内存，500GB硬盘配有16X倍速DVD±RW刻录机配有USB2.0（前后各一个）和RJ45接口配19寸LCD显示器

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