实验设备

● 工作电压：220VAC，50Hz                        ● 工作电压：380VAC，50Hz  三相
● 最大输入功率：7KW                                  ● 最大输入功率：15KW
● 空气开关：需60A的空气开关                      ● 空气开关: 需60A的空气开关
● 保护：自动水压，超温和超功率保护           ● 保护：自动水压，超温和超功率保护

● 不锈钢法兰上带有高温硅胶O型圈，在法兰上安装两个阀门和真空计
● 一端封闭的石英管：60（外径）* 57（内径）* 250（长）mm。
● 在法兰上连接KF25接头和KF25的波纹管用于连接真空泵
● 请按照左边的图片，安装法兰到耐火部分

● 高纯度石墨坩埚，尺寸：40（外径）* 32（内径）* 101（深度)mm
● 完整的耐火装置由氧化铝制成，包括坩埚底部的支架、坩埚支架和盖子
● 可根据要求提供氮化硼坩埚坩埚（30（外径） * 24（内径）* 26（深度）mm）

注意：坩埚是消耗品，不在保修范围内，请点击如上的图片进行订购

● 温度范围：5～30℃
● 水流量：16L/min
● 水箱：不锈钢材质，容积为12L
注意：建议使用特定的冷却液以获得最佳性能。在几次加热试验后，等待几分钟冷却属于正常现象

● 标配一个2.2L/s的双级旋叶片真空泵
● 电压：AC 208-240V 50Hz,单相
● 最大功率：0.4KW

另有多种真空泵，详情请点击下图选择

● 感应加热主机：190mm 长* 440mm宽 * 460mm高            ● 感应加热器：520mm长 * 520mm宽 * 450mm高
● 感应加热分机：190mm长 * 320mm宽 * 320mm高
● 水冷机：540mm长*380mm宽*740mm高                          ● 水冷机：460mm长 * 475mm宽 * 762mm高
● 移动钢框炉架：600mm长 * 900mm宽 * 600mm高            ● 移动钢框炉架：600mm长 * 900mm宽 * 600mm高
          （用于放置感应加热器和石英管）                                               （用于放置感应加热器和石英管）

100Kg

此设备可改为RTP（快速热处理炉）和混合物理化学气相沉积（HPCVD）系统，请点击下面的图片查看，如您有任何特殊需求可联系我们

如需定制，请联系我们的工程师

● 为了保护石墨坩埚和C热电偶，在整个实验过程必须在流动惰性气氛环境中进行。气体流量应限制在< 200SCCM
● C型热电偶是耗材，不在我们的保修范围内
● 在连续的气体流动状态下，所有的气路压力都在0.02MPa以下。石英管内气压超过0.02MPa后，可能对炉膛造成不可逆转的破坏
● 当出气口关闭，炉腔内存在正压状态时，不要加热炉子。在加热过程中，必须使用压力表来密切监测加热腔体内情况，一旦燃烧室压力超过0.02MPa，请立即打开放气阀，以防止不可预见的损坏
● 熔化时间和温度与材料、坩埚、耐火绝缘等有关。如果不知道感应加热器是否能熔化您的样品，请联系我们的工程师咨询
● 石英管内部气压必须<0.02MPa(相对气压）
● 所用气瓶上必须安装减压阀（可在本公司购买）

如果客户需要通过MET认证，需自行支付认证费用，具体价格请联系我们的销售代表
认证标准包括:1感应加热器:UL61010-1 & UL499;2真空泵:UL1450;3冷水机组:UL61010 & UL1995