应用范围:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
产品型号 :OTF-1200X-S2-50SL
上架时间 :2019-07-22
安装尺寸:炉体:340mm L x 330mm W x 400mm H
整体:1600mm L x 430mm W x 500mm H
重量:80Kg
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
性能指标和基本配置 | ||
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炉体结构 |
● 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃(参考值,详情请点击)
图1 图2 图3 图4 图5 图6 |
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基本参数 |
● 热偶:K型热偶 |
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高纯石英管尺寸 |
尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm) |
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加热元件 |
掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命) |
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加热区 |
每个加热炉加热区长度:200mm |
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密封法兰 |
● 一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内 图1 图2 图3
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温控系统 |
● 包含一款808P型温度控制器 |
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可选 |
● 可选购电动滑轨(图一) 图1 图2 图3 图4
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温度校准(可选) |
● 定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括: |
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滑轨 |
● 镀铬钢制成的双滑轨 |
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真空系统(可选) | ||
尺寸 |
● 炉体:340mm L x 330mm W x 400mm H |
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净重 |
80Kg |
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使用注意事项 |
● 炉管内气压不可高于0.02MPa |
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应用提示 |
·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰。 |
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认证 |
所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 |
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保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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