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PPM 级双柱惰性气体净化器

应用范围:GPH-DHDO含有两部分气体净化器(一个用于除氧另一个用于除水),两个净化器用1/4”不锈钢管和两个针阀连接在一起,可以与任何9728太阳集团混气系统连接。在室温下,它将气态杂质降低到ppm级。它可将99.9%纯度的惰性气体如(氮、氦、氖、氩、氪、和氙)中的H2OO2CO2H2CO以及非甲烷的烃类化合物降至< 0.1 ppm,以及可将H2中的H2OO2CO2降至< 0.1 ppm。此外此设备带有加热功能,可以加热到300℃对除氧除水单位进行再生,方便长期循环使用。

产品型号 :PPM

上架时间 :2019-07-11

安装尺寸:445mm L X 400mm W X 190mm H

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       GPH-DHDO含有两部分气体净化器(一个用于除氧另一个用于除水),两个净化器用1/4”不锈钢管和两个针阀连接在一起,可以与任何9728太阳集团混气系统连接。在室温下,它将气态杂质降低到ppm级。它可将99.9%纯度的惰性气体如(氮、氦、氖、氩、氪、和氙)中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烃类化合物降至< 0.1 ppm,以及可将H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此设备带有加热功能,可以加热到300℃对除氧除水单位进行再生,方便长期循环使用。

 性能指标和基本配置
产品特点

● 输入:输入气体纯度要求:<1000 ppm(99.9%)
● 输出:清除杂质至<0.1 ppm(O2≤0.1 ppm H2O,-76℃露点温度)(请点击此处转换湿度单位)
● 304L不锈钢罐(<10 Ra EP)
● 3再生操作简单方便
● 内置数字温度控制器和气体流量计控制
● 再生后可净化多达80L惰性气体
● 设备需在270℃下再生(需使用5N纯度的95%N2 + 5%H2气体)

电源 ● 220v 50Hz
● 功率:500W(加热过程中)
最大压力输出

0.5MPa

工作温度

室温-300℃

气体泄漏率

<2 x 10-9 atm cc/sec He

温度控制器

控温精度±1 ºC

最大气流

400mL/min

外形尺寸

445mm L X 400mm W X 190mm H

质量认证

CE认证

使用提示

● 您可以选购精密质子流量计,输入气体更加准确(图一)
● 此系统可以和本公司所有的管式炉和CVD系统相连接(图二)
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      图一                                           图二

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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