应用范围:这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合9728太阳集团集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。产品型号 :GSL-3F
上架时间 :2019-07-09
安装尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
重量:约75 Kg
这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合9728太阳集团集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。
性能指标和基本配置 | |
---|---|
浮子流量计 |
● 三种不同量程的浮子流量计,控制精度4% |
机械压力表(混气罐) |
-0.1-0.15 Mpa |
接头和气管 |
● 在混气系统右侧安装三个气体进口 |
真空针阀 |
● 采用ss304不锈钢 |
安装带刹车的转向轮 |
外形尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H |
净重 |
约75 Kg |
可选 |
CVD或者PECVD 液相气体发生器 |
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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