GSL-3F 混气系统3路浮子
应用范围：这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合9728太阳集团集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。产品型号 ：GSL-3F
上架时间 ：2019-07-09
安装尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
重量：约75 Kg
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这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入，管式炉可以放在它上面，结合9728太阳集团集团的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
| 性能指标和基本配置 | |
|---|---|
| 浮子流量计 |
● 三种不同量程的浮子流量计，控制精度4% |
| 机械压力表（混气罐） |
-0.1-0.15 Mpa |
| 接头和气管 |
● 在混气系统右侧安装三个气体进口 |
| 真空针阀 |
● 采用ss304不锈钢 |
| 安装带刹车的转向轮 |
外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H |
| 净重 |
约75 Kg |
| 可选 |
CVD或者PECVD 液相气体发生器 |
| 保修期 |
一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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黄萍萍