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OTF-1200X-4-III-9HV 1200°C三温区九通道混气高真空CVD系统

应用范围：OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统，齐炉管直径为4英寸，它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成，其最高温度可达1200℃，极限真空可达to 10^-5 torr，混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部，用来研究气体环境对材料的影响。

产品型号：OTF-1200X-4-III-9HV

上架时间：2019-07-03

安装尺寸：炉体: 550 x 380 x 520mm

质量流量控制器: 600 x 600 x 700mm

高真空机组: 600 x 600 x 700mm

净重: 100Kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统，齐炉管直径为4英寸，它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成，其最高温度可达1200℃，极限真空可达to 10^-5 torr，混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部，用来研究气体环境对材料的影响。

性能指标和基本配置
管式炉	壳体结构	● 采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度。 ● 保温材料采用高纯氧化铝纤维，可以环保节能，减少热量的损失。 ● 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。 ● 三个温区，可以独立控温。 ● 真空机组和气体流量供气系统位于移动加上，方便移动。
	加热元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，使其延长加热元件的寿命）
	最高工作温度	1200°C
	连续工作温度	1100°C
	最大升温速率	≤20°C/min
	加热区长度	● 总温区长度: (880mm, 35" in total) ● 温区 1: 220 mm + 温区2: 440 mm + 温区 3: 220 mm
	炉管尺寸和材质	材质：高纯石英管 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm
	温控系统	● 三个数字精密温度控制器，可设置50段升降温程序，每个温区可以进行独立控温。 ● PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 °C。 ● 带有过热和断偶保护。
	热电偶	3根K型热电偶
	输入电源	AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率：7KW
	真空配件	标准的真空配件包括： ● 两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口。 ● 两个精密针阀和一个1/4“软管接头。 ● 6个高温硅胶O型密封圈，最高可承受温度300°C。 ● 为了防止热量以热辐射的形式散失，高温损坏密封圈，炉子在加热前必须放入氧化铝管堵。 ● 一根KF-40 抽真空波纹管。 ● 三个KF-40 快速卸装卡箍。 ● 2个KF-25 快速卸装卡箍
高真空机组	结构	● 壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 最大承载量: 600 Lbs on top ● 分子泵显示屏:LCD数字显示内装有一Pfeiffer vacuum pump made in Germany
	真空传感器	● 真空传感器有一个kf 25接口 ● 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
	控制面板	● 一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动） ● 系统控制旋转速率：根据腔体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率。
	抽气速率	● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s
	工作范围	1000 mbar to <1E-7 mbar
	极限	10^-5 torr (with tube furnace)
	输入电源	110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz
	消耗功率	持续时间/最大功率: 100/110Watt
MFC 质量流量控制器	● 9通道精密质量流量控制器，安装在移动架上，并带有数字显示。 ● 3 MFC 范围10 - 1000scc。 ● 3 MFC 范围2 0 - 200scc。 ● 3 MFC范围3 0 - 10 scc 三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上，用来检测混合气体的压力
运输信息	● 炉子尺寸: 550 x 380 x 520mm ● 质量流量控制器尺寸: 600 x 600 x 700mm ● 高真空机组尺寸: 600 x 600 x 700mm
重量	净重: 100Kg 运输重量: 350 lb (two pallets)
应用注意事项	● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
质量认证	CE certified
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。点击查看售后服务承诺书。

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