应用范围:OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统,齐炉管直径为4英寸,它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成,其最高温度可达1200℃,极限真空可达to 10^-5 torr,混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部,用来研究气体环境对材料的影响。
产品型号 :OTF-1200X-4-III-9HV
上架时间 :2019-07-03
安装尺寸:炉体: 550 x 380 x 520mm
质量流量控制器: 600 x 600 x 700mm
高真空机组: 600 x 600 x 700mm
净重: 100Kg
OTF-1200X-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统,齐炉管直径为4英寸,它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成,其最高温度可达1200℃,极限真空可达to 10^-5 torr,混气系统可以对1-9种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部,用来研究气体环境对材料的影响。
性能指标和基本配置 | ||
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管式炉 | 壳体结构 |
● 采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度小于60度 。 |
加热元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,使其延长加热元件的寿命) | |
最高工作温度 | 1200°C | |
连续工作温度 | 1100°C | |
最大升温速率 | ≤20°C/min | |
加热区长度 |
● 总温区长度: (880mm, 35" in total) |
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炉管尺寸和材质 | 材质:高纯石英管 100 mm O.D x 92 mm ID. x 1400 mm | |
温控系统 |
● 三个数字精密温度控制器,可设置50段升降温程序,每个温区可以进行独立控温。 ● PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/ - 1 °C。 ● 带有过热和断偶保护。 |
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热电偶 | 3根K型热电偶 | |
输入电源 | AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:7KW | |
真空配件 |
标准的真空配件包括: ● 两个不锈钢真空密封法兰与kf 25抽气接口。 ● 两个精密针阀和一个1/4“软管接头。 ● 6个高温硅胶O型密封圈,最高可承受温度300°C。 ● 为了防止热量以热辐射的形式散失,高温损坏密封圈,炉子在加热前必须放入氧化铝管堵。 ● 一根KF-40 抽真空波纹管。 ● 三个KF-40 快速卸装卡箍。 ● 2个KF-25 快速卸装卡箍 |
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高真空机组 | 结构 |
● 壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm |
真空传感器 |
● 真空传感器有一个kf 25接口 |
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控制面板 |
● 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) ● 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率。 |
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抽气速率 |
● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s |
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工作范围 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | |
极限 | 10^-5 torr (with tube furnace) | |
输入电源 | 110V AC or 220V AC可切换的, 50/60Hz | |
消耗功率 | 持续时间/最大功率: 100/110Watt | |
MFC 质量流量控制器 |
● 9通道精密质量流量控制器,安装在移动架上,并带有数字显示。 |
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运输信息 |
● 炉子尺寸: 550 x 380 x 520mm |
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重量 |
净重: 100Kg |
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应用注意事项 |
● 炉管内气压不可高于0.02MPa ● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态 ● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ● 石英管的长时间使用温度<1100℃ 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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质量认证 | CE certified | |
保修期 |
一年保修,终身技术支持。 特别提示: 1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 点击查看售后服务承诺书。 |
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